Motor Micro Rotary Voice Coil Presisi Tinggi yang Digunakan untuk Penyusunan Wafer

Sebagai komponen daya drive langsung presisi tinggi, motor spiral suara berputar memainkan peran kunci dalam kalibrasi sudut wafer selama proses penyelarasan wafer dan penentuan posisi,berkat keunggulan inti ±0.01° pengulangan rotasi, kecepatan respons tingkat milidetik, operasi bebas roda gigi, dan keausan rendah.Penyimpangan sudut wafer secara langsung mempengaruhi akurasi proses berikutnya. Rotary motor suara kumparan dapat dengan cepat mendorong tahap wafer untuk melakukan pengaturan rotasi sudut halus berdasarkan umpan balik dari sistem posisi visi,dengan waktu respons kurang dari 10 ms, memastikan keselarasan yang tepat dari wafer dengan topeng litografi dan jalur etching.dengan sempurna memenuhi persyaratan penyelarasan presisi tinggi untuk wafer ultra tipis dan berbentuk tidak teraturSelain itu, desain strukturalnya yang kompak memungkinkan integrasi ke ruang perangkat yang terbatas dan sesuai dengan persyaratan desain terintegrasi platform penyesuaian wafer.