Motor Koil Suara Linier Respon Presisi Tinggi Untuk Kontrol Gerak Mikro Semikonduktor

Tempat asal Cina, Suzhou
Nama merek SUPT MOTION
Sertifikasi ISO9001,CE,3C
Nomor model seri VCAB
Kuantitas min Order 1 buah
Harga $110-$160
Kemasan rincian Kemasan disesuaikan dll.
Waktu pengiriman <i>1-5pcs ,5 days .</i> <b>1-5pcs, 5 hari.</b> <i>&gt;20pcs ,To be negotiated</i> <b>&gt; 20 pcs, un
Syarat-syarat pembayaran T/T
Menyediakan kemampuan untuk dinegosiasikan

Hubungi saya untuk sampel dan kupon gratis.

Ada apa:0086 18588475571

Wechat wechat: 0086 18588475571

Skype: sales10@aixton.com

Jika Anda memiliki kekhawatiran, kami menyediakan bantuan online 24 jam.

x
Detail produk
Jaminan 3 bulan-1 tahun Model produk VCAB0262-0112-00A
Berat (g) 285 Kekuatan Puncak (N) 262
Jumlah Pukulan (mm) 11.2 Tegangan Maks (V) 35.1
Aplikasi Produk Otomatis Akurasi penentuan posisi Tinggi
Jenis Produk motor koil suara linier Penggantian Sikat
Gaya kontinyu (N) 111N Jenis Kompak
Tinggalkan pesan
Deskripsi Produk

Deskripsi Produk:

Dalam proses manufaktur semikonduktor seperti pemrosesan wafer, litografi, inspeksi, dan pengemasan, kontrol mikro-posisi memerlukan akurasi yang sangat tinggi, respons yang cepat, dan stabilitas jangka panjang. Motor Voice Coil Linier, yang menampilkan pengoperasian direct-drive dan kinerja dinamis yang sangat baik, telah menjadi solusi aktuasi yang ideal untuk kontrol mikro-perpindahan dalam peralatan semikonduktor.

Motor Voice Coil Linier menghasilkan dorongan langsung melalui gaya elektromagnetik, memungkinkan gerakan linier tanpa gesekan, bebas celah dengan resolusi posisi tingkat mikrometer atau bahkan nanometer. Dibandingkan dengan mekanisme ulir timah atau servo-driven tradisional, motor voice coil linier menawarkan akurasi dan pengulangan posisi yang unggul dalam rentang langkah pendek. Mereka sangat cocok untuk penyelarasan wafer, pemfokusan optik, kontrol kontak probe, dan tahap posisi presisi.

Dalam aplikasi pemindaian berkecepatan tinggi dan kompensasi dinamis, motor voice coil linier memberikan akselerasi tinggi dan respons frekuensi tinggi, memungkinkan pelacakan yang tepat dari perintah kontrol dan kompensasi yang efektif untuk kesalahan sistem dan gangguan lingkungan. Gerakan mereka yang halus dan getaran rendah membantu meminimalkan gangguan proses dalam fabrikasi mikro-struktur dan memastikan kinerja proses yang stabil.

Fitur:

  • Resolusi perpindahan sub-mikron atau tingkat nanometer
  • Respons dinamis berkecepatan tinggi, bandwidth tinggi
  • Pengulangan yang luar biasa dan stabilitas jangka panjang
  • Tanpa celah, getaran rendah, dan gerakan bebas partikel
  • Kompatibilitas dengan lingkungan cleanroom ISO 4–5
  • Tidak ada ulir timah, roda gigi, atau celah
  • Tidak ada histeresis dalam respons perpindahan
  • Bandwidth kontrol tinggi untuk posisi loop tertutup, kecepatan, dan kontrol gaya
  • Getaran dan kebisingan akustik yang sangat rendah

Motor Koil Suara Linier Respon Presisi Tinggi Untuk Kontrol Gerak Mikro Semikonduktor 0

Parameter Produk:

Model Produk Gaya Puncak
(N)
Gaya Kontinu
pada 25℃(N)
Langkah Total
(mm)
Tegangan Maks
(V)
Konstan EMF Balik
(V/m/s)
Berat koil
(g)
Diameter Stator Ulir ujung poros
(mm)
VCAB0005-0039-00A 5 1.5 3 5.4 0.9 23 29.5 M2(Luar)
VCAB0005-0050-00A 5 2.2 3.9 14.5 3.1 27 31.5 M2.5(Luar)
VCAB0013-0072-00A 13 4.2 7.2 26.6 5.72 16.2 26.2 M3(Luar)
VCAB0015-0062-00A 15 6.5 6.2 26.2 9.75 14.8 33 M3(Luar)
VCAB0015-0127-00A 15 4.9 12.7 21.5 4.1 12.5 30.5 Poros ∮4.8
VCAB0022-0098-00A 22 6.6 9.8 24.7 5.8 20 34.1 M3(Luar)
VCAB0022-0448-00A 22 11.4 44.8 14.3 4 52 48 M3(Dalam)
VCAB0032-0050-00A 32 8.9 5 29.3 7.1 48 40 M3(Dalam)
VCAB0033-0099-00A 33 8 9.9 24.3 5.87 23.5 36 M3(Luar)
VCAB0033-0224-00A 33 13.5 22.4 26.7 6.8 69 58 M3(Dalam)
VCAB0035-0105-00A 35 15.6 10.5 11.9 5 91 50 M3(Dalam)
VCAB0044-0040-00A 44 16.3 4 18.3 8.9 46.5 53 M3(Dalam)
VCAB0044-0059-00A 44.1 17.7 5.9 14.3 8 43 46 M3(Dalam)
VCAB0044-0075-00A 44 13.7 7.5 16.8 7.6 38.6 31.1 M3(Luar)
VCAB0044-0249-00A 44 11.7 24.9 44.9 8.88 65.9 38.1 M3(Dalam)
VCAB0070-0149-00A 70 27.3 14.9 26.9 17.7 79 43 M3(Dalam)
VCAB0087-0062-00A 87 21.67 6.2 34.5 12.7 45.2 43.1 M3(Dalam)
VCAB0087-0563-00A 87 17.5 56.3 63.4 8.1 177 72 poros ∮10
VCAB0088-0191-00A 88.5 23.2 19.1 29.9 8 162 50.8 M3(Dalam)
VCAB0105-0164-00A 105 35.4 16.1 20.1 11.5 150 60.4 M3(Dalam)
VCAB0113-0089-00A 113 35 8.9 31 17.5 125 73 poros ∮8
VCAB0262-0112-00A 262 111 11.2 35.1 41 285 71 poros ∮10
VCAB0262-0249-00A 262 112 24.9 28.2 26 785 66 poros ∮8
VCAB0294-0498-00A 294 56.8 49.8 114 24.5 685 93 poros ∮10
VCAB0436-0187-00A 436 147.6 18.7 40.7 40.7 648 80.4 poros ∮10
VCAB0436-0250-00A 436 167 25 31.6 37.2 775 78.4 poros ∮10
VCAB0445-0300-00A 445 185 30 33 35 920 76.2 poros ∮10

 

Aplikasi:

  1. Tahap penyelarasan dan posisi wafer
  2. Fokus litografi dan kompensasi ketinggian
  3. Sumbu Z stasiun probe dan kontrol kontak
  4. Aktuator pemindaian berkecepatan tinggi AOI / AVI
  5. Die bonding dan mikro-perakitan pengemasan
  6. Sistem pengeluaran presisi dan mikro-dosis

Motor Koil Suara Linier Respon Presisi Tinggi Untuk Kontrol Gerak Mikro Semikonduktor 1