Micro Permanent Magnet Motor Linear Built-In Shaft Voice Coil Motor Untuk Industri Semikonduktor

Modelnya adalah VCAH0070-0149-00A suara motor kumparan dengan dibangun dalam poros gerak dan presisi bantalan linier. poros bergerak terbuat dari bahan berkualitas tinggi dengan berat ringan,kekakuan tinggi dan ketahanan ausHal ini ditandai dengan berat ringan, volume kecil, waktu respons pendek, frekuensi tinggi, presisi tinggi, percepatan tinggi, umur panjang, dll. . Mempunyai motor spiral suara poros yang sepenuhnya tertutup dengan motor spiral suara tipe ekspor yang terlindungi sepenuhnya yang memberikan kinerja yang superior dan sepenuhnya tertutup pada tingkat kebisingan rendah.Terbuat dari paduan aluminium tahan lama, full house voice coil actuator untuk memberikan daya tahan dan umur yang superior.

Linear built-in shaft Voice Coil Motor (VCM) memiliki berbagai aplikasi di industri semikonduktor, terutama di bidang berikut:

Sistem Litografi:

Litografi adalah peralatan kunci dalam proses manufaktur semikonduktor, digunakan untuk mentransfer pola sirkuit ke wafer silikon.Proses litografi membutuhkan presisi ekstrim dan respon cepat. motor linier built-in poros suara kumparan sangat cocok untuk digunakan dalam sistem penyelarasan dan pemindaian untuk mesin litografi karena percepatan tinggi mereka,kontrol posisi yang tepat dan gerakan bebas keausan.
Pengolahan Wafer:

Saat penanganan wafer, wafer perlu dipindahkan dengan tepat dan cepat.Ini sangat penting untuk mentransfer, posisi dan muatan wafer untuk meningkatkan produktivitas dan hasil.
Stasiun Probe:

Stasiun Probe digunakan untuk dengan tepat menempatkan probe di lokasi tertentu pada wafer untuk menguji karakteristik listriknya selama pengujian semikonduktor.Keakuratan tinggi dan responsif dari motor koil suara membuat mereka sangat cocok untuk gerakan kecil dan posisi yang tepat kebutuhan stasiun probe.
Peralatan kemasan:

Dalam proses pengemasan semikonduktor, chip harus dipasang dan dihubungkan dengan tepat.sehingga meningkatkan kecepatan dan akurasi proses kemasan.
Sistem penyelarasan otomatis:

Proses penyelarasan dalam pembuatan semikonduktor membutuhkan tingkat presisi yang tinggi untuk memastikan bahwa pola sirkuit dari setiap lapisan ditumpuk dengan benar.Karakteristik penentuan posisi yang sangat presisi dari motor koil suara membuat mereka ideal untuk digunakan dalam sistem penyelarasan otomatis, memungkinkan akurasi penyelarasan tingkat nanometer.

Parameter teknis:

Aplikasi:

 Indikator teknis & spesifikasi dapat disesuaikan

Layanan purna jual yang memuaskan